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SPS NPP旋涂机用于晶圆处理系统 S150X-ST
基片旋涂机是什么？
基片旋涂机也常称作匀胶机、甩胶机，是依靠高速旋转产生离心力，在各类平整基片表面制备超薄均匀液态薄膜的精密工艺设备。设备依靠真空吸附固定硅片、玻璃、陶瓷、柔性基材等基片，将液态功能溶液滴注在基片中心，通过分段变速旋转让液体向外均匀铺展，甩出多余原料并同步挥发溶剂，最终形成致密平整、厚度可控的固态薄膜，可通过调节转速、旋转时长、环境温湿度精准管控膜层厚度与整体均匀度，适配纳米至微米级涂层加工需求。
型号示例：
S150X-ST-PP POLOS® SPIN150x Standard NPP旋涂机
主体材质：原生聚丙烯（NPP）整机塑料结构
POLOS 系列旋涂设备二十余年来应用于研发以及小批量生产领域，*装机数量超 5000 台。SPIN150x 整机采用耐用原生聚丙烯材质，可适配最大 6 英寸晶圆以及 4 英寸方形基板，适用于多种工艺处理。
主要特性：
适用性强，同一机型可集成舱内安装或台式摆放两种使用方式；
配置液体收集过滤器、机盖锁止结构以及真空监测传感器，提升使用安全性；
采用多方位无刷间接驱动方案，最高转速 12000 转 / 分钟，配备电机原点复位功能，运行控制精度高；
搭载触摸屏操作界面，可存储无数量限制的工艺程序；
支持后期功能解锁升级。
可选配套工装：
真空吸盘：承载面直径 45 毫米，真空吸附区域直径 36 毫米
真空碎片载台转接件：承载面直径 50 毫米，真空吸附区域直径 10 毫米
SPS NPP旋涂机用于晶圆处理系统 S150X-ST
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