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sps半导体基片旋涂机 SPIN150X
sps旋涂处理器
在当今快速发展的环境中，半导体生产企业面临着持续的压力，需要在保持高清洁度标准的同时，生产尺寸小、智能、高效的微芯片。
sps凭借其在晶圆处理和湿法工艺设备方面的专业知识，提供半导体工艺产品解决方案。
POLOS SPIN150X是一款多功能、高品质的基片旋涂机，采用NPP材质制成，也提供PTFE材质。
它为研发和小批量生产而设计，它是一款台式机型，可手动或自动（可选）分配化学药剂。
独特的外壳和排水设计，使操作者可以在现场轻松切换台面式和嵌入式两种安装方式。此外，该设备还支持在现场通过多种配件进行升级，以简化分配和整体操作过程。
SPIN150X 参数：
液体过滤器捕集器
定制的外壳与排水设计，支持在现场切换台面式与嵌入式安装方式
中心注射固定架，适用于注射器或分配喷嘴 — 盖锁及真空传感器确保用户安全
大尺寸（可拆卸）触控显示屏
USB 接口，可用于存储工艺配方及软件更新
驱动单元：
间接无刷驱动单元，可达 12,000 RPM（具体取决于基片/卡盘）
高加速度与高精度
加速/减速范围：1–30,000 RPM
支持顺时针、逆时针旋转及静置涂布模式（puddle）
sps半导体基片旋涂机 SPIN150X
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